打造零污染無塵室!拆解乾式真空幫浦在半導體產業的核心應用
進入 AI 與 5G 蓬勃發展的世代,晶片需求量大增,半導體廠對生產良率的要求也提升到了極致。在晶圓製造的背後,其實隱藏著一個不可或缺的幕後英雄——真空系統。承大電氣代理高品質乾式真空幫浦幫助您的產業提升生產效率,特別是在對潔淨度與穩定度極為苛刻的半導體製程中,提供強大且無污染的真空環境力備 support!
究竟乾式真空幫浦是如何在半導體產業發揮作用的?今天就帶大家一起來一探究竟!
為何半導體製程離不開乾式真空幫浦?
在半導體製造過程中,無論是黃光微影後的蝕刻(Etching)、薄膜沉積(CVD/PVD),還是擴散(Diffusion)與離子植入,幾乎所有關鍵步驟都必須在高度嚴格控制的真空環境下運作。
