什麼是乾式真空幫浦(Dry Pump)?－部落格

May 17 Fri 2019 16:10
什麼是乾式真空幫浦(Dry Pump)?

乾式真空幫浦-什麼是乾式真空幫浦(Dry Pump)?

在幫浦進氣、壓縮及排氣行程中，轉子運動的過程沒有油脂潤滑或密封。因此，乾式真空幫浦可避免油氣回流(back streaming)對系統造成汙染。
雖然目前乾式真空幫浦之設備成本遠較油式機械幫浦來的高，但因不用添加及更換幫浦油、且對真空系統潔淨度較佳，以及對製程抗腐蝕性更高的要求，都更符合半導體以及光電產業的製程需要。

乾式真空幫浦讓乾淨製程得以實現，生產品質與環境品質兼具，提升真空產業的品質，也保護我們所生存的地球！乾式真空幫浦採用無油式運轉，體積小、噪音小，更能在低真空下運作，是您發展真空產業不可或缺的一環。